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12寸全自動(dòng)襯底拋光
 
FTB300FP全自動(dòng) CMP 設(shè)備是捷芯與日本技術(shù)團(tuán)隊(duì)共同開發(fā)的CMP設(shè)備。 該設(shè)備致力于高產(chǎn)能高性價(jià)比,并改進(jìn)了技術(shù)要求提高的平面度(GBIR、SFQR)。
  • 晶圓尺寸

    ≤12 inches

  • GBIR

    <100nm

  • 進(jìn)出料

    干進(jìn)濕出

高端國(guó)產(chǎn)替代優(yōu)選
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