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  設(shè)備配備完整的磁場(chǎng)控制系統(tǒng)，全新的軟控系統(tǒng)、視覺(jué)系統(tǒng)，超高精度傳動(dòng)系統(tǒng)，保證設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中精準(zhǔn)控制，長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
• 

  大尺寸

  兼容市場(chǎng)所有主流尺寸晶棒生產(chǎn)，最大晶棒尺寸可達(dá)26寸。
• 

  可定制化

  可針對(duì)客戶不同要求，制定熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)、磁場(chǎng)配備等不同方案的定制化產(chǎn)品。

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