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近年來，隨著5G、物聯(lián)網、人工智能等技術不斷演進，全球半導體市場持續(xù)擴容，設備國產替代進程加快。作為晶體生長設備領域的深耕者，無錫松瓷機電有限公司（以下簡稱“松瓷機電”）主動應變、精準布局，加快邁入半導體新賽道。
前沿洞察
創(chuàng)新領航
松瓷機電是無錫快盈viii科技股份有限公司（股票代碼：688516）旗下控股子公司，依托母公司在光伏設備領域的技術積累與全球化布局，已發(fā)展成為全球領先的光伏直拉單晶爐制造商，合作客戶覆蓋晶科、天合、阿特斯等國內外頭部光伏企業(yè)，全球市占率穩(wěn)居前列。
在深耕光伏主業(yè)的同時，松瓷機電憑借多年的晶體生長設備制造經驗于2023年正式拓展半導體設備業(yè)務，陸續(xù)推出硅部件單晶爐、硅部件多晶鑄錠爐、IC級半導體單晶爐、碳化硅長晶爐以及配套設備純化爐等多款半導體產品，同時開設智能車間整線自動化方案業(yè)務，滿足客戶智能化、系統(tǒng)化、高效化的生產需求。
芯光璀璨
成果矚目
? 產品系列：SC-1600-SP、SC-1700-SP、SC-1800-SP、SC-1600MCZ-SP、SC-1700MCZ-SP
? 副室：Φ650mm、Φ700mm
? 磁場兼容：勾型/水平對置
? 全自動控制系統(tǒng)
? AI智能拉晶+遠程集控+整線自動化
? ≥36吋熱場及大直徑晶棒工藝+無磁場低氧
松瓷機電2023年9月推出全球首臺SC-1600 MCZ SEMI半導體級磁拉單晶爐，最大可拉制26英寸大尺寸晶棒。產品采用全新的提拉結構設計，超高精度傳動系統(tǒng)，兼容超導磁。裳∨洌。在滿足大尺寸晶棒對重量及速度的嚴格要求下，實現(xiàn)硅部件晶體拉制工藝。硅部件多晶鑄錠爐提供定制化服務，可聯(lián)排爐設計，兼容八角坩堝，配套單次復投30kg加料，實現(xiàn)產能高度翻倍。
目前，硅部件單晶爐及硅部件多晶鑄錠爐已獲得韓國知名半導體企業(yè)訂單，設備在客戶現(xiàn)場表現(xiàn)優(yōu)異，贏得客戶高度認可。
IC級半導體單晶爐系列
? 產品系列：SC-1200MCZ、SC-1400MCZ、SC-1600MCZ、SC-1700MCZ
?副室：Φ460mm*5500mm
?最大5000Gs水平對置磁場
?全自動控制系統(tǒng)
?AI智能拉晶+遠程集控+整線自動化
?最大拉制4.0m長12吋單晶
?控徑能力≤±0.1mm+鎖拉速控制
此外，松瓷機電推出的IC級半導體單晶爐系列產品，可滿足不同尺寸晶棒拉制需求。產品搭載的全新AI智能拉晶系統(tǒng)，利用深度學習算法和AI智能圖像解析技術，實現(xiàn)高精度熔料檢測、自動降籽晶熔接、智能斷棱檢測、快速開叉識別等生產過程實時監(jiān)控，實現(xiàn)包含引晶、放肩、等徑、收尾等全過程無人工干預的全自動控制。產品最大可拉制4.0m長12吋單晶，可定制5000Gs超大尺寸磁。鼐賭芰Α堋0.1mm。
通過運用專業(yè)的仿真模擬軟件，經過反復的熱場模擬，適配的機械結構設計，實現(xiàn)設備的高穩(wěn)定性運行。在滿足大尺寸IC級半導體晶棒生產的同時，保證晶體的高品質輸出。
碳化硅長晶爐
? 晶錠尺寸：6吋、8吋、12吋
?加熱方式：電阻式、電感式
?全自動控制系統(tǒng)
?AI智能拉晶+遠程集控+整線自動化
?多溫區(qū)高精度全流程無波動控溫
?定制化服務
另外，松瓷機電打造的碳化硅長晶爐產品可采用電阻加熱、電感加熱兩種加熱方式，兼容8英寸和12英寸長晶，同時配備智能化控制系統(tǒng)，滿足長晶過程全自動控制及遠程集控，設備穩(wěn)定性高，產出率高。研發(fā)團隊使用VR、COMSOL等仿真模擬軟件，對SiC熱場進行設計及驗證，實現(xiàn)設備與熱場工藝高匹配度?，F(xiàn)階段8英寸工藝可將籽晶處徑向溫差控制在10℃-15℃，生長速率150-300um/h，長晶凸度可控制到1-3mm，長晶良率90%以上。憑借大量的仿真數(shù)據(jù)與長晶經驗，松瓷機電可為客戶提供定制化熱場設計及優(yōu)化服務，與客戶攜手合作攻克工藝難點。
碳化硅樣品展示
（8inch）
作為半導體行業(yè)一顆冉冉升起的新星，松瓷機電正在用實力一步一個腳印走出一條屬于自己的市場之路。未來，松瓷機電將帶給半導體市場更多驚喜，一起攜手，為半導體行業(yè)的蓬勃發(fā)展注入強勁動力。
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